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TES Cluster PECVD 티이에스 증착기
WONIKIPS LPCVD 4.5G/5G Low Pressure Chemical Vapor Deposition 원익아이피에스
ULVAC CMD1500 PECVD 5.5G Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 알박
AKT 1600-PECVD(2G) Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에이케이티
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